2002年5月亜太國際電機股份有限公司(現 Kokusai Electric Asia Pacific Co., Ltd.)が、Kokusai Electric Asia Pacific Shanghai Ltd.(現 科意半導体没備(上海)有限公司(KE Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd.))を設立
2003年3月米国現地法人Kokusai Semiconductor Equipment CorporationがKokusai Electric America, Inc.を吸収合併
2003年3月連結子会社であったKook Je Electric Korea Co., Ltd.の公募増資により持分法適用関連会社化
2003年3月Kook Je Electric Korea Co., Ltd.はKOSDAQ市場に上場
2006年5月Kokusai Electric Asia Pacific Shanghai Ltd.に追加出資し、Hitachi Kokusai Electric (Shanghai) Co., Ltd. (現 科意半導体没備(上海)有限公司(KE Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd.))に商号変更
2008年5月Kokusai Electric Europe GmbHとHitachi Kokusai Electric Europe GmbHが合併し、Hitachi Kokusai Electric Europe GmbHに商号変更
2009年3月株式会社日立製作所の連結子会社となる
2010年9月持分法適用関連会社であったKook Je Electric Korea Co., Ltd.を株式の追加取得により連結子会社化
2010年9月同社の子会社Fusionaid Co., Ltd.についても連結子会社化
2010年11月Kook Je Electric Korea Co., Ltd.平澤工場を建設
2011年10月Kook Je Electric Korea Co., Ltd.がFusionaid Co., Ltd.を吸収合併
2011年10月Kook Je Electric Korea Co., Ltd.天安工場を拡張
2015年2月連結子会社であったKook Je Electric Korea Co., Ltd.の株式を公開買付その結果、Kook Je Electric Korea Co., Ltd.はKOSDAQ市場上場廃止
2015年9月Hitachi Kokusai Electric Europe GmbHを新設分割し、新設分割設立会社をHitachi Kokusai Electric Europe GmbHとするとともに、分割会社をHitachi Kokusai Semiconductor Europe GmbH(現 Kokusai Semiconductor Europe GmbH)に商号変更
2016年1月公開買付け等により連結子会社であったKook Je Electric Korea Co., Ltd.の全ての株式を取得し、完全子会社化
2017年2月Kohlberg Kravis Roberts & Co. L.P.を成膜プロセスソリューション事業の分割による売却先に選定し、Kohlberg Kravis Roberts & Co. L.P.が特別目的会社であるHKEホールディングス合同会社を東京都千代田区丸の内に設立
2017年11月富山事業所剱館完成
2017年12月HKEホールディングス合同会社からHKEホールディングス株式会社に組織変更
2017年12月HKEホールディングス株式会社が株式会社日立国際電気の公開買付けを実施し、成立
2018年3月株式会社日立国際電気が東京証券取引所市場第一部上場廃止
2018年3月HKEホールディングス株式会社が株式会社日立国際電気からKook Je Electric Korea Co., Ltd.の全ての株式を取得し、完全子会社化